光刻机的工作原理是什么？

岱美仪器技术服务2023-07-24

光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。我们岱美以过硬的产品质量、完善的售后服务、认真严格的企业管理，赢得了广大客户的认可，欢迎广大客户前来咨询！

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